INFICONModeLock技術確保獲得最高、最穩定的速率和厚度測量分辨率，即使在速率極低的情況下
AutoZ技術通過自動測定沉積材料的Z比值，提高厚度測量的精度
一個IC6即可同時、單獨或以任何組合方式控製最多6個來源，無需使用兩個或三個控製器
彩色TFTLCD顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況
10Hz測量
100ms樣本速率下頻率範圍為+/-0.0035Hz
USB數據存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數據記錄
多個源厚度合計功能
測量低密度、低速率材料的平均速率（使用穩定源的低速率OLED摻雜材料沉積最多30秒）
速率顯示分辨率可達0.001/s
4米XIU選件能夠在大型係統中使用較長的真空傳感器電纜
無沉積控製允許持續控製源，因為基片可以通過沉積室不斷循環
6個標準DAC輸出和另外6個可選輸出用於來源控製、速率或厚度監控