常規配置

真空係統

低真空泵：2X-70（選擇：進口SV300，E2M17/275）

增壓泵：ZJP600（選擇：進口WAU2001，EH1200/EH2600）

高真空泵：渦輪分子泵（選擇：低溫泵，擴散泵或進口磁懸浮）

真空閥係統

-型號40，50，150，550

真空室加熱係統

-最高溫度：0到400℃

-型號：不鏽鋼管裝加熱器（選擇：鹵素燈管）

基片架盤型號：

-球麵型（選擇：平麵型，3公自轉，多行星型）

-轉速：0到30轉數/分

軟啟，軟停，可調速

電器控製係統：

-觸膜屏麵板和PLC控製

-可修改和改變重要的參數

-全程自動控製鍍膜以達到最終產品所需要求

VAC係統

-進口低高真空感應器：1

MFC係統

-進口質量流量控製器：1

-進口電磁閥：1

APC係統

-進口質量流量控製器：1

-進口電磁閥：1

鍍膜沉積控製係統

-晶控控製：美國產IC-6，

XTC-3S/M，INFICON310。

-石英晶體感應器：1，2，6頭

光控控製

-國產光控（或英國inteiiemetrics）

離子源

-霍兒源（或考夫曼，RF源）

電子束源

-容量：15cc，25cc，40cc等等

-偏轉角度：180°或270°

-坩堝：4，6，8，12，16，2+1，6+1個等

深冷係統

-真空室麥斯納阱

-擴散泵冷阱