渦旋真空泵機組的工作腔是由一對型線共軛的渦旋盤副齧合安裝組成。渦旋盤就是在盤麵開有一個或幾個漸開線螺旋槽的渦旋型盤狀結構體。真空泵機組一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交錯組裝在一起，動、靜盤之間由防自轉機構保證180°相位差，這樣組成的一對渦旋盤副構成了無油渦旋真空泵的抽氣機構。靜渦旋盤與動渦旋盤彼此之間在幾條直線(在橫截麵上是幾個點)上接觸形成幾對月牙形封閉腔，動渦旋盤在曲軸的驅動下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運動，接觸點沿渦旋曲麵移動實現吸氣、壓縮與排氣。在電機的帶動下，曲軸每轉一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，從而實現渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環，對被抽氣體形成包容和強製輸送。公轉型是一個渦旋固定不動(稱為靜渦旋)，另一個繞著它公轉平動(稱為動渦盤)，動渦盤由曲柄軸驅動。
   密封點位置隨主軸同步轉動。它整體結構簡單、零件少、渦旋回轉線速度小、機械磨損少，但需進行平衡設計。渦旋真空泵利用外側渦圈包容氣體形成封閉吸氣腔。為了減少渦盤末端和進氣口之間的流導，常將進氣口設在渦旋盤外圈末端附近。同時為了保證中心壓縮腔中的氣體在排氣過程中盡量排走，一般將排氣孔設在靜渦盤中心附近。因為渦旋泵內壓縮比不是很大，常設置排氣閥以消除壓縮不足，但應使排氣閥與渦圈頂部之間的容積盡可能小。為了提高抽速或減少渦盤尺寸，常設計采用雙側渦旋。回轉型是由兩個渦旋盤心軸分別裝在兩側軸承上，其中一個由電機直接驅動，另一個由十字滑環機構帶動，沿相同角度旋轉。其密封位置形成一條線，方向始終不變，泵采用立式結構。驅動電機在機殼內上部，渦盤在下部。因其密封方向不變，回轉徑向密封既便於人為控製，又能避免渦圈側麵接觸而需進行的卸載運轉，但其整體結構複雜、零件多、機械磨損高。